●SHS, SSR, SNR/SNS, SHW, HSR, SR, NR/NRS, HRW, NSR-TBC, HSR-M1, SR-M1, HSR-M2, SRG和SRN型的精度如 A1-95的 表16所示,可以按規(guī)格劃分為普通級(jí)（無(wú)標(biāo)記）,、高級(jí)（H）,、精密級(jí)（P）,、超精密級(jí)（SP）以及超超精密級(jí)（UP）直線導(dǎo)軌,。
表15 按精度等級(jí)規(guī)格分類(lèi)的LM軌道長(zhǎng)度和行走平行度 單位∶μm
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